Kaj je SEM?

• usmerjeni snop visoko energijskih e - • ustvari signale • 2-D slika • območja 1 cm do 5 mikronov posnamemo v načinu za skeniranje • povečave: 20X do 30,000X • prostorska ločljivost: 50-100 nm • točkovne analize izbranih lokacij na vzorcu • EDS • EBSD